中科院:计算光刻技术取得重大进展 看全部

本帖最后由 罗衫浪子 于 2021-06-10 22:03 编辑

中国科学院官网刊文称,上海光机所在计算光刻技术研究方面取得重要进展。

近日,中科院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室提出一种基于虚拟边(Virtual Edge)与双采样率像素化掩模图形(Mask pixelation with two-phase sampling)的快速光学邻近效应修正技术(Optical proximity correction, OPC)。仿真结果表明,该技术具有较高的修正效率。

光刻是极大规模集成电路制造的关键技术之一,光刻分辨率决定集成电路的特征尺寸。随着集成电路图形的特征尺寸不断减小,光刻系统的衍射受限属性导致明显的光学邻近效应,降低了光刻成像质量。

在光刻机软硬件不变的情况下,采用数学模型和软件算法对照明模式、掩模图形与工艺参数等进行优化,可有效提高光刻分辨率、增大工艺窗口,此类技术即计算光刻技术(Computational Lithography),被认为是推动集成电路芯片按照摩尔定律继续发展的新动力。



OPC技术通过调整掩模图形的透过率分布修正光学邻近效应,从而提高成像质量。基于模型的OPC技术是实现90nm及以下技术节点集成电路制造的关键计算光刻技术之一。

上海光机所科研人员提出的这种基于虚拟边、双采样率像素化掩模图形的快速光学邻近效应修正技术,能够将不同类型的成像失真归结为两种类型的成像异常,即内缩异常与外扩异常。

利用不同的成像异常检测模板,依次在掩模图形的边缘和拐角等轮廓偏移判断位置进行局部成像异常检测,确定异常类型及异常区域的范围。

根据异常检测位置与异常区域范围,自适应产生虚拟边。通过移动虚拟边调整掩模的局部透过率分布,从而修正局部成像异常。借助修正策略和修正约束,实现高效的局部修正和全局轮廓保真度控制。

另外,双采样率像素化掩模充分利用了成像系统的衍射受限属性,在粗采样网格上进行成像计算与异常检测,在精采样网格上进行掩模修正,兼顾了成像计算效率与掩模修正分辨率。

利用多种掩模图形进行验证,仿真结果表明该OPC技术的修正效率优于常用的基于启发式算法的OPC技术。
相关研究成果已经发表在Optics Express上(论文链接)。

基于虚拟边的成像异常修正:(a)外扩异常修正,(b)内缩异常修正



https://news.mydrivers.com/1/762/762701.htm
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标题有点夸张了
引用: 来骗来偷袭 发表于 2021-06-11 01:01
标题有点夸张了

原网址标题
不是针对你,只是吐槽下垃圾自媒体。
新闻标题:  中科院:计算光刻技术取得重大进展
正文第一句话:  中国科学院官网刊文称,上海光机所在计算光刻技术研究方面取得重要进展。
‘重大进展’和‘重要进展’这是完全不同的两个概念。
看看上海光机所官网怎么写的吧: 中科院上海光机所计算光刻技术研究取得进展
看到区别了吗?多了个‘研究’少了个‘重大’
  • 5楼 泓奕
  • 2021-06-11 02:31
这种行业的新工艺技巧性论文还是别发境外媒体了吧
引用: 来骗来偷袭 发表于 2021-06-11 02:07
不是针对你,只是吐槽下垃圾自媒体。
新闻标题:  中科院:计算光刻技术取得重大进展
正文第一句话:  中 ...

国家什么时候才能管管这些狗比自媒体,时间久了会变成跟台蛙一个智商。

RE: 中科院:计算光刻技术取得重大进展

引用: 308003636 发表于 2021-06-11 07:08
国家什么时候才能管管这些狗比自媒体,时间久了会变成跟台蛙一个智商。

以前想管了

然后某些人说这是“文字狱”
已经贴了啊 ,我又贴了一次

RE: 中科院:计算光刻技术取得重大进展

引用: 不正常熊类研究中心 发表于 2021-06-11 07:12
以前想管了

然后某些人说这是“文字狱”

关键是这些自媒体的载体,以前是UC头条,以UC浏览器为载体肆意传播,现在是今日头条,以今日头条app为载体也是胡作非为,良莠不齐。

载体应该负有编辑审核的责任,毕竟受众这么广,已经起到了广播和新闻的效果了,应该规定,有法人资格的公众账号的和关注量超过一定数量的账号严格受新闻传播和语言文字的管辖。
重大进展,重大突破
  • 11楼 xdw076
  • 2021-06-11 08:52

RE: 中科院:计算光刻技术取得重大进展

引用: pfsense 发表于 2021-06-11 08:29
关键是这些自媒体的载体,以前是UC头条,以UC浏览器为载体肆意传播,现在是今日头条,以今日头条app为载 ...

要处罚头条,为了吸眼球,它根本不去处罚这种胡说八道的自媒体。我举报太多这种夸大其谈的,极少有处罚的。

RE: 中科院:计算光刻技术取得重大进展

引用: xdw076 发表于 2021-06-11 08:52
要处罚头条,为了吸眼球,它根本不去处罚这种胡说八道的自媒体。我举报太多这种夸大其谈的,极少有处罚的 ...

我绝对赞同。这些资本为了博眼球可以不要底线。媒体为了上位赚钱也不要底线。
重大突破能发文章,说明也不是多重大的突破。
天天放卫星,身体会虚的
“仿真结果表明,该技术具有较高的修正效率。”但是中科院的官网刊文,应该还是靠谱的吧
引用: 不正常熊类研究中心 发表于 2021-06-11 07:12
以前想管了

然后某些人说这是“文字狱”

文字狱就是那些反贼的话术,你看看外网天天吹言论自由,但美利坚会让反贼自由言论不
引用: xdw076 发表于 2021-06-11 08:52
要处罚头条,为了吸眼球,它根本不去处罚这种胡说八道的自媒体。我举报太多这种夸大其谈的,极少有处罚的 ...

现在的媒体很多都是坐在电脑前钱敲键盘,只想着抢新闻博眼球,新闻的真实性原则早就丢光了,国家就应该对媒体报道造谣的进行分级处罚,比如说10万,50万,100万,500万到勒令整改,最严重的注销资格。
又发论文啊,论文党天天突破。突破屁啊
引用: 浮云涛影 发表于 2021-06-12 16:46
又发论文啊,论文党天天突破。突破屁啊


呵呵




不管理论有多先进,需要在现实上能够实现才行